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发布时间:2020-02-29 21:24:18
净化间的工作原理
工作原理:采用高压静电吸附除尘工作原理。静电式是采用高压静电吸附除尘的工作原理。静电场中的阴极线在高压静电的作用下,电晕层中产生大量的负离子,负离子在静电场的作用下,不断地向阳极运动。(2)局部照明这是指为增加某一地点(如工作点)的照度而设置的照明。当空气中粉尘通过电场时,粉尘受到负离子的碰撞带上电荷,带上电荷后的粉尘同样受到静电场的作用,向阳极(集尘极)运动,到达阳极后释放电荷。 缺点:可去除飘尘(不能去除气体),效能比机械式低、慢,而且易产生臭氧,此机型被美国市场评为***差净化器。
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净化间的要求
国外洁净室的强度要求极高,例如美国关于洁净室的几个标准的要求是.人工光300lx有较好的效果,当工件精细程度更高时,500x也是允许的。对于要红灯照明的地方,如电子行业的光刻车间,其照度一般为(25—501x),用天然光时可允许更高的照度,因而对工作是有利的,所以今后洁净室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的,这也是为了节能而出现的一种动向。由于这类车间内,人员比较多,可以根据以下数值应取下列的:非单向流洁净室总送风量的10-30%。
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净化间的优点
优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。乱流式缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。复合式(Mixed Type)复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。随着电子元器件向微小化方向发展,液晶面板已经升级至第八代,行业需求非常巨大。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
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